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huanghuolin木虫 (小有名气)
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[求助]
电子束蒸发Pt后剥离不掉 已有1人参与
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图形最小尺寸3um, 光刻后电子束蒸发200nm的Pt，发现在蒸发时腔体温度过高，达到90-100度间，且整个蒸发过程持续了2小时，后发现样品表面胶变皱了，显微镜观察胶有过于固化产生部分裂纹的情况，最后泡丙酮1小时，低功率超声一小时还是无法剥离！！！ 样品前期已经做了很多道工序了，请教各位虫友有什么好的建议吗，现在的问题是连光刻胶也会有一两百纳米的残余，部分区域图形剥离好，很多连图形都一起被超声掉了！还能挽救吗，或者如何连Pt和胶一起去除干净？ |
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 光刻 |
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