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88984202金虫 (小有名气)
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关于电容式RF MEMS开关直流驱动电压如何发挥作用及RF信号如何耦合到地？
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如图所示，电容式RF MEMS开关的直流驱动电压施加于可动极板（弯曲桥膜）与RF信号线之间，此图上RF信号线接正极，可动极板接负极，而可动极板与CPW传输线的接地端相连，当驱动电压施加后，可动极板受静电力驱动下拉，与介质层接触，电容变大，RF信号被耦合到地，但当驱动方式是双极性驱动时，驱动电压的正负在每个驱动后期交替变化，那就变成了RF信号线接负极，可动极板（弯曲桥膜）接正极，那问题来了： （1）可动极板是接地的，如何又能接正极？即使可以，正电荷又怎么能聚集于可动极板上，难道正电荷不会沿接地端流走？可能我电路学的不好，始终理解不了这个问题，望高手指点； （2）另外，当开关闭合后，按照原理，电容增大，RF信号耦合到地端，请问如何耦合？什么原理，小电容为什么不耦合？ 请前辈不吝赐教！！！不胜感激！！！  U]4QVZ__$A0FQXWHE$R8E%U.jpg |
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