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光刻中的非晶碳作用
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| 请问在光刻前,在器件表面沉积非晶碳,然后在用光刻胶,这里非晶碳有什么作用? |
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scu2020: 专业求助,尽量避免纯表灌水 2013-08-22 17:03:19
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2楼2013-08-22 14:29:28
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scu2020: 金币-1, 这个。。。。两次。。。 2013-08-23 13:40:43
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