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haoli1027

铁虫 (小有名气)

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[求助] 光刻中的非晶碳作用

请问在光刻前，在器件表面沉积非晶碳，然后在用光刻胶，这里非晶碳有什么作用？

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慕缘

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scu2020: 金币-1, 这个。。。。两次。。。 2013-08-23 13:40:43

3楼2013-08-23 09:10:07

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