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ECV测试载流子浓度问题
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请教下高手,我是做ECV(仪器是PN4300)测试的GaSb晶片载流子浓度曲线测试的, 但是我找了半天关于ECV原理的文献很少,貌似也没看懂。 我想问下这个仪器腐蚀的原理是什么,为什么说从半导 体传输到电解液的电荷(阳极电流)由半导体价带上的空穴载流子提供? 测试p到n结的时候,光照要人工调节打开,还是自动打开? 什么原因导致我测试的时候横坐标没有从0开始呢? 恳请各位赐教,如果有相关方面的中文书籍(涉及ECV的)还望各位推荐下,先谢过各位!!! |
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