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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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kaka2134

木虫 (初入文坛)

[求助] ito玻璃上淀积氢化非晶硅的具体参数

要在ito玻璃上淀积1um的氢化非晶硅,可是对薄膜工艺根本不了解,有没有做过的大神给个详细的制作参数啊,压强,温度,功率,时间,气体流量比等等,谢谢
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