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ito玻璃上淀积氢化非晶硅的具体参数
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要在ito玻璃上淀积1um的氢化非晶硅，可是对薄膜工艺根本不了解，有没有做过的大神给个详细的制作参数啊，压强，温度，功率，时间，气体流量比等等，谢谢 |
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