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murmurpopo

铜虫 (小有名气)

[求助] 一般买回来的单晶硅片(圆的那种)的表面是不是有一层自然的氧化膜(二氧化硅)?

我想研究表面活性剂在二氧化硅表面的吸附情况,直接用单晶硅片应该可以吧??不知道买回来的单晶硅片(圆的那种)的表面是不是有一层自然的氧化膜(二氧化硅)呢?

按道理应该是的,只是总感觉不对劲~~
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zuozewen

禁虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★
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murmurpopo: 金币+4 2013-08-18 14:52:14
本帖内容被屏蔽

2楼2013-08-18 11:50:54
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小博士后

捐助贵宾 (小有名气)


【答案】应助回帖

★ ★
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murmurpopo: 金币+2 2013-08-18 14:52:20
单晶硅硅片打开真空包装后放在室内会自己形成一层二氧化硅,但是很薄。
3楼2013-08-18 12:55:17
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马踏冰河

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
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murmurpopo: 金币+2 2013-08-18 14:51:55
恩  一般都会用  如果不需要二氧化硅层  就用氢氟酸腐蚀一下
4楼2013-08-18 12:55:46
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
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murmurpopo: 金币+4, ★★★很有帮助 2013-08-18 14:51:46
是的,一般要用之前都要用HF超声把表面氧化层去掉,不过你要就要用Sio2还是建议先去掉然后再可控生长,否则感觉用它自己形成的不太好控制,厚度表面情况啥的
5楼2013-08-18 13:19:54
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
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murmurpopo: 金币+8, ★★★很有帮助 2013-08-18 14:50:59
二氧化硅在不同的地方会有很多种形态。所以你要确定你自己要研究的是哪种形态下二氧化硅和表面活性剂的关系。
硅片上原生的自然氧化硅是极其疏松的一种无定形二氧化硅,是比较少见的形态。
PECVD,LPCVD,湿氧,干氧,按照致密程度由低到高,对应的会得到不同的无定形氧化硅。
另外还存在熔石英这类的玻璃态,和单晶石英的单晶态。
所以,你要搞清楚自己要针对什么做研究,它们对应的衬底是完全不同的。
6楼2013-08-18 14:00:50
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wswsjz

木虫 (职业作家)

加油!加油!加油!相信你一定能成为科研大牛,到时候多多传受经验!
paper,mypaper
7楼2013-08-18 15:03:52
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)

yanhualover: 屏蔽内容 2013-08-19 15:15:34
本帖内容被屏蔽

8楼2013-08-18 16:46:54
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