应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 氧化铁薄膜
152/2返回列表上一页12
查看: 1178  |  回复: 14
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

ustcmm

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

是不是因为铁是磁性物质？ 磁性材料对磁控溅射仪中的磁场有屏蔽作用，沉积他们是会减弱或改变靶材周围的磁场分布，所以你看到了不正常的辉光，影响溅射效率。要是生成四氧化三铁的话，也是磁性的吧，估计也会有影响，磁性靶材要专门加工成薄片，来降低影响。
赞一下 回复此楼
11楼2013-08-19 20:35:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mingxu

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
11楼: Originally posted by ustcmm at 2013-08-19 20:35:54
是不是因为铁是磁性物质？ 磁性材料对磁控溅射仪中的磁场有屏蔽作用，沉积他们是会减弱或改变靶材周围的磁场分布，所以你看到了不正常的辉光，影响溅射效率。要是生成四氧化三铁的话，也是磁性的吧，估计也会有影响 ...

哦，知道了，谢谢，我试试
赞一下 回复此楼
dream
12楼2013-08-20 10:46:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qwcmos

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

首先，你的实验条件都没有说明白，别人怎么给你解答。
1.[Fe靶材，Ar/O2]还是[氧化铁靶材，Ar],或者其他的实验条件
2.Fe属于磁性材料，不能使用永磁铁溅射[除非靶材厚度为1-3mm]，可以使用电磁铁溅射。
希望对你有帮助。
赞一下 回复此楼
13楼2013-08-21 11:52:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qwcmos

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
13楼: Originally posted by qwcmos at 2013-08-21 11:52:11
首先，你的实验条件都没有说明白，别人怎么给你解答。
1.还是,或者其他的实验条件
2.Fe属于磁性材料，不能使用永磁铁溅射，可以使用电磁铁溅射。
希望对你有帮助。...

笔误了！磁性靶材材料的厚度是1-3cm，靶材过厚会磁屏蔽的。
赞一下 回复此楼
14楼2013-08-21 12:21:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mingxu

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
13楼: Originally posted by qwcmos at 2013-08-21 11:52:11
首先，你的实验条件都没有说明白，别人怎么给你解答。
1.还是,或者其他的实验条件
2.Fe属于磁性材料，不能使用永磁铁溅射，可以使用电磁铁溅射。
希望对你有帮助。...

是纯度为四个9的铁靶，在氧气和氩气的环境下用磁控直流溅射，
赞一下 回复此楼
dream
15楼2013-08-22 09:36:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 mingxu 的主题更新
152/2返回列表上一页12
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 8rmuugja8q 2026-02-22 7/350 2026-02-23 09:44 by w4l55oybr1
[考研] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 khieu8v8m0 2026-02-22 8/400 2026-02-23 09:35 by w4l55oybr1
[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +4 khieu8v8m0 2026-02-22 8/400 2026-02-23 09:29 by w4l55oybr1
[考研] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +5 usprnugpzw 2026-02-21 11/550 2026-02-23 09:24 by w4l55oybr1
[教师之家] 为什么中国大学工科教授们水了那么多所谓的顶会顶刊，但还是做不出宇树机器人？ +5 欢乐颂叶蓁 2026-02-21 8/400 2026-02-23 09:19 by 欢乐颂叶蓁
[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 w89i99eaeh 2026-02-22 5/250 2026-02-23 08:04 by w4l55oybr1
[博后之家] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +4 khieu8v8m0 2026-02-22 6/300 2026-02-23 07:59 by w4l55oybr1
[考博] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +4 khieu8v8m0 2026-02-22 4/200 2026-02-23 06:46 by jsjzfl
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 khieu8v8m0 2026-02-22 5/250 2026-02-23 06:29 by w4l55oybr1
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +4 khieu8v8m0 2026-02-22 8/400 2026-02-23 06:24 by w4l55oybr1
[考博] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +5 3dfhjxgsh7 2026-02-22 6/300 2026-02-23 02:04 by 5jlh3qtdvx
[基金申请] 面上可以超过30页吧？ +4 阿拉贡aragon 2026-02-22 4/200 2026-02-22 21:22 by 山西悬空寺空悬�
[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +4 usprnugpzw 2026-02-21 6/300 2026-02-22 19:48 by w89i99eaeh
[考研] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 3dfhjxgsh7 2026-02-22 4/200 2026-02-22 16:52 by khieu8v8m0
[找工作] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 usprnugpzw 2026-02-22 3/150 2026-02-22 16:37 by khieu8v8m0
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 usprnugpzw 2026-02-21 4/200 2026-02-22 16:27 by khieu8v8m0
[基金申请] “人文社科而论，许多学术研究还没有达到民国时期的水平” +4 苏东坡二世 2026-02-18 5/250 2026-02-22 16:07 by liangep1573
[基金申请] 什么是人一生最重要的？ +4 瞬息宇宙 2026-02-21 4/200 2026-02-22 11:44 by huagongfeihu
[基金申请] 今年春晚有几个节目很不错，点赞！ +11 瞬息宇宙 2026-02-16 12/600 2026-02-21 21:14 by lq493392203
[基金申请] 体制内长辈说体制内绝大部分一辈子在底层，如同你们一样大部分普通教师忙且收入低 +9 瞬息宇宙 2026-02-20 12/600 2026-02-21 10:39 by 欢乐颂叶蓁
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭