11楼: Originally posted by ustcmm at 2013-08-19 20:35:54
是不是因为铁是磁性物质？ 磁性材料对磁控溅射仪中的磁场有屏蔽作用，沉积他们是会减弱或改变靶材周围的磁场分布，所以你看到了不正常的辉光，影响溅射效率。要是生成四氧化三铁的话，也是磁性的吧，估计也会有影响 ...

13楼: Originally posted by qwcmos at 2013-08-21 11:52:11
首先，你的实验条件都没有说明白，别人怎么给你解答。
1.还是,或者其他的实验条件
2.Fe属于磁性材料，不能使用永磁铁溅射，可以使用电磁铁溅射。
希望对你有帮助。...

13楼: Originally posted by qwcmos at 2013-08-21 11:52:11
首先，你的实验条件都没有说明白，别人怎么给你解答。
1.还是,或者其他的实验条件
2.Fe属于磁性材料，不能使用永磁铁溅射，可以使用电磁铁溅射。
希望对你有帮助。...