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ustcmm

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

是不是因为铁是磁性物质? 磁性材料对磁控溅射仪中的磁场有屏蔽作用,沉积他们是会减弱或改变靶材周围的磁场分布,所以你看到了不正常的辉光,影响溅射效率。要是生成四氧化三铁的话,也是磁性的吧,估计也会有影响,磁性靶材要专门加工成薄片,来降低影响。
11楼2013-08-19 20:35:54
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mingxu

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
11楼: Originally posted by ustcmm at 2013-08-19 20:35:54
是不是因为铁是磁性物质? 磁性材料对磁控溅射仪中的磁场有屏蔽作用,沉积他们是会减弱或改变靶材周围的磁场分布,所以你看到了不正常的辉光,影响溅射效率。要是生成四氧化三铁的话,也是磁性的吧,估计也会有影响 ...

哦,知道了,谢谢,我试试
dream
12楼2013-08-20 10:46:01
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qwcmos

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

首先,你的实验条件都没有说明白,别人怎么给你解答。
1.[Fe靶材,Ar/O2]还是[氧化铁靶材,Ar],或者其他的实验条件
2.Fe属于磁性材料,不能使用永磁铁溅射[除非靶材厚度为1-3mm],可以使用电磁铁溅射。
希望对你有帮助。
13楼2013-08-21 11:52:11
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qwcmos

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
13楼: Originally posted by qwcmos at 2013-08-21 11:52:11
首先,你的实验条件都没有说明白,别人怎么给你解答。
1.还是,或者其他的实验条件
2.Fe属于磁性材料,不能使用永磁铁溅射,可以使用电磁铁溅射。
希望对你有帮助。...

笔误了!磁性靶材材料的厚度是1-3cm,靶材过厚会磁屏蔽的。
14楼2013-08-21 12:21:27
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mingxu

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
13楼: Originally posted by qwcmos at 2013-08-21 11:52:11
首先,你的实验条件都没有说明白,别人怎么给你解答。
1.还是,或者其他的实验条件
2.Fe属于磁性材料,不能使用永磁铁溅射,可以使用电磁铁溅射。
希望对你有帮助。...

是纯度为四个9的铁靶,在氧气和氩气的环境下用磁控直流溅射,
dream
15楼2013-08-22 09:36:38
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