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mingxu

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 氧化铁薄膜

用磁控溅射给硅基板上溅射铁,怎么什么都没用啊,一点膜也没形成,望路过多的大神神指点指点小弟
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dream
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qwcmos

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

首先,你的实验条件都没有说明白,别人怎么给你解答。
1.[Fe靶材,Ar/O2]还是[氧化铁靶材,Ar],或者其他的实验条件
2.Fe属于磁性材料,不能使用永磁铁溅射[除非靶材厚度为1-3mm],可以使用电磁铁溅射。
希望对你有帮助。
13楼2013-08-21 11:52:11
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马踏冰河

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
fbqrdzs: 鼓励交流 2013-08-16 11:45:37
提高能量试一下  不至于啊
2楼2013-08-15 11:15:01
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765365884

木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
fbqrdzs: 鼓励交流 2013-08-16 11:45:43
你确定成功启辉了?窗口玻璃该换了吧
用2B铅笔描绘2B人生!
3楼2013-08-15 11:54:06
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mingxu

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 765365884 at 2013-08-15 11:54:06
你确定成功启辉了?窗口玻璃该换了吧

辉光有异常
dream
4楼2013-08-16 09:36:29
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