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sx50550

铁虫 (初入文坛)

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[求助] 光刻胶用树脂有哪些树脂种类

用于光刻胶的树脂有哪些？

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1楼 2013-07-22 08:14:30

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水飘零

金虫 (著名写手)

金陵家族之潜水人士

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专业: 有机分子功能材料化学

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
sx50550: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-08-20 11:16:05

挺多的，光刻胶有正胶和负胶之分，还有化学增幅光刻胶等。正胶主要是酚醛树脂类别的树脂，负胶有聚乙烯醇肉桂酸酯及环化橡胶等，而化学增幅型光刻胶又按照曝光光源分为：G线，I线，KrF光刻胶和ArF光刻胶，以及极紫外光刻胶，其中G线和i线使用的一般为改性的酚醛树脂，而KrF和ArF多选择脂肪族聚合物。

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花自飘零水自流，一种相思，两处闲愁；此情无计可消除，才下眉头，却上心头

3楼2013-07-31 11:09:15

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lam987

木虫 (小有名气)

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专业: 半导体微纳机电器件与系统

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
sx50550: 金币+5, 博学EPI+1, ★有帮助 2013-08-20 11:15:49

正胶用酚醛树脂，负胶用感光树脂，感光树脂有聚乙烯醇月桂酸酯、加重铬酸盐的明胶或聚乙烯醇、有光聚合能力的烯类单体等等。

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2楼2013-07-22 09:43:56

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