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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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sx50550

铁虫 (初入文坛)

[求助] 光刻胶用树脂有哪些树脂种类

用于光刻胶的树脂有哪些?

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水飘零

金虫 (著名写手)

金陵家族之潜水人士

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
sx50550: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-08-20 11:16:05
挺多的,光刻胶有正胶和负胶之分,还有化学增幅光刻胶等。正胶主要是酚醛树脂类别的树脂,负胶有聚乙烯醇肉桂酸酯及环化橡胶等,而化学增幅型光刻胶又按照曝光光源分为:G线,I线,KrF光刻胶和ArF光刻胶,以及极紫外光刻胶,其中G线和i线使用的一般为改性的酚醛树脂,而KrF和ArF多选择脂肪族聚合物。
花自飘零水自流,一种相思,两处闲愁;此情无计可消除,才下眉头,却上心头
3楼2013-07-31 11:09:15
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lam987

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
sx50550: 金币+5, 博学EPI+1, 有帮助 2013-08-20 11:15:49
正胶用酚醛树脂,负胶用感光树脂,感光树脂有聚乙烯醇月桂酸酯、加重铬酸盐的明胶或聚乙烯醇、有光聚合能力的烯类单体等等。
2楼2013-07-22 09:43:56
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