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流刃若水

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[求助] 多层金属膜在刻蚀液中的电化学腐蚀

多层金属膜，在在刻蚀液中，为什么会发生电化学反应，这种反应往往会影响薄膜的均一性，影响器件的电学性能

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蓝蓝的天空

1楼2013-07-17 17:46:53

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