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求助!!用碱腐蚀硅片表面出现的白色颗粒是什么?怎样除去?
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我用氢氧化钾和异丙醇腐蚀硅片,电镜图片上有许多白色颗粒,是什么物质?是硅酸盐吗?怎样除去?怎样避免产生这种现象?各位大侠,请赐教!另外问一下,N型硅片和P型硅片同样用碱腐蚀出来的形貌一样吗? 1.gif |
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