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ITO陶瓷靶 已有1人参与
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磁控溅射仪因为旧的ITO陶瓷靶碎了，换个新的ITO陶瓷靶后出现了 1.在原有参数条件下不起辉的现象，同时电压升高，这是为什么？ 2.同样的参数条件下，镀出的ITO膜电阻率非常大，达10-2量级。而没换靶时电阻率为10-4量级。 同时声明用的是直流磁控溅射的方法。 |
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riddickfang
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2楼2013-10-04 12:32:17
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