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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射时基片位于负辉光区吗？
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crncrn

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射时基片位于负辉光区吗？

我看叶志镇书上事这么写的，那基片后面是有一块阳极吗？
靶原子射出来后是怎么飞行到基片上的，是靠氩气传给它的能量吗？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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1楼 2013-07-15 23:18:21
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