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磁控溅射时基片位于负辉光区吗？
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我看叶志镇书上事这么写的，那基片后面是有一块阳极吗？ 靶原子射出来后是怎么飞行到基片上的，是靠氩气传给它的能量吗？ [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ] |
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