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langphed

木虫 (正式写手)

[求助] Si衬底用氨水和HMTA合成ZnO 消除腐蚀

在Si衬底用氨水和HMTA合成ZnO ,发现Si片出现腐蚀,如何解决这个问题?谢谢1!
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容易走得都是下坡路
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langphed

木虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-07-12 14:46:53
碱性溶液对硅片都会有腐蚀。曾经把抛光过的片子在弱碱性溶液里放了一夜,第二天就成磨砂面了。

不能用带氧化层的硅片腐蚀吗?

这个阵列就长不好了
容易走得都是下坡路
6楼2013-07-12 19:08:21
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六五居室

木虫 (小有名气)

不懂,但是对这个方向感兴趣,希望大牛回答
知道差距,加油,缩小差距
2楼2013-07-12 14:29:07
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
kunpeng1782: 专家考核, 谢谢您的指导 2013-07-12 15:47:36
langphed: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-07-12 19:08:41
碱性溶液对硅片都会有腐蚀。曾经把抛光过的片子在弱碱性溶液里放了一夜,第二天就成磨砂面了。

不能用带氧化层的硅片腐蚀吗?
3楼2013-07-12 14:46:53
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-07-12 14:46:53
碱性溶液对硅片都会有腐蚀。曾经把抛光过的片子在弱碱性溶液里放了一夜,第二天就成磨砂面了。

不能用带氧化层的硅片腐蚀吗?

我的意思是说“合成吗”
4楼2013-07-12 14:47:56
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