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风中的秋千

金虫 (小有名气)

[交流] 关于单晶硅表面处理的问题

最近买了单晶硅想在上面生长碳纳米管，可是不知道单晶硅表面应该如何处理。看了一些文献，说是单晶硅的表面有约几个纳米厚度的SiO2，需要用HF处理，而且处理后的单晶硅又很容易被重新氧化。不知道是不是真是这样的？我该如何去检测单晶硅表面是不是附有一层氧化硅呢?
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1楼 2007-10-28 22:10:31
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无敌烽火轮

铁虫 (小有名气)
★
jackchen145(金币+1,VIP+0):3X积极回复
检验方法很多，XPS,或者用SEM cross-section也能观察到，当然了酸洗前后表面的颜色也不同
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2楼2007-10-29 09:24:33
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