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关于单晶硅表面处理的问题
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| 最近买了单晶硅想在上面生长碳纳米管，可是不知道单晶硅表面应该如何处理。看了一些文献，说是单晶硅的表面有约几个纳米厚度的SiO2，需要用HF处理，而且处理后的单晶硅又很容易被重新氧化。不知道是不是真是这样的？我该如何去检测单晶硅表面是不是附有一层氧化硅呢? |
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2楼2007-10-29 09:24:33