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场发射器件的栅极材料选择问题
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| 【新手求教】我是做尖锥型的场发射器件的,文献中 栅极材料选用比较多的是 Mo、Cr、重掺多晶硅(或非晶硅),请问可以给我介绍一下这些材料各自的优缺点吗? |
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