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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 高人,帮帮忙把(有奖啊)
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xihonghao

银虫 (正式写手)

[交流] 高人,帮帮忙把(有奖啊)

本人做铁电薄膜方向课题.在性能测试时需要溅射金电极.在最近金电极溅射时溅射出的东西老是黑色的(本来应该是金黄色的),那位高人给指导一下啊,谢谢了!
如果建议有效,本人奖励金币30个!
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1楼 2007-10-26 19:07:28
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songyuren

新虫 (职业作家)

呵呵

这个问题就是薄膜的黑化问题吧
给你 推荐一本书
机械工业出版的《气相沉积应用技术》
那里讲了 这方面的原因
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2楼2007-10-26 20:49:34
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tzhwzhw

银虫 (小有名气)
会不会是溅射条件没有把握好哦，是不是功率太大了，或者气压太高了？
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老老实实做人，认认真真做事！
3楼2007-10-26 21:31:02
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tzhwzhw

银虫 (小有名气)
估计是沉积速率太快的缘故吧，改进一些溅射参数，再试试，我以前溅射过Ag电极，也是发黑，后来速率减小，就可以了。
赞一下 回复此楼
老老实实做人，认认真真做事！
4楼2007-10-26 21:32:36
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