真空紫外光刻光源与基材之间距离与刻蚀效果之间影响关系 - 生物材料 - 高分子生物材料

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金虫 (正式写手)

高中

引用回帖:

10楼: Originally posted by 红舟流星 at 2013-10-14 14:02:04
一个光子刻蚀深度和一百个光子刻蚀深度有无关系？...

刻蚀时间相同，其他条件相同的条件下

11楼2013-10-14 16:53:43

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引用回帖:

11楼: Originally posted by 李小白哈哈 at 2013-10-14 16:53:43
刻蚀时间相同，其他条件相同的条件下...

如果“一个光子刻蚀深度和一百个光子刻蚀深度有区别，那么光强是有影响的→与光源的距离有关”，当然这只是我的个人猜想，最好还是通过实验证明。

红楼一梦终难寻扁舟载酒且慢行落花流水依惜别月伴明星照前路

12楼2013-10-14 23:48:29

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