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真空紫外光刻光源与基材之间距离与刻蚀效果之间影响关系
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| 如题，真空紫外光刻的光源 与 被刻蚀基材 的刻蚀效果 与他们之间的距离有无关系？呈怎么样的关系？ |
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2楼2013-07-03 00:29:12
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