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wangdy107

银虫 (小有名气)

[交流] 请教薄膜电学性能测试方面的问题

在做半导体薄膜电学性能测试时,hall效应测试仪的四个探针是否是直接与薄膜接触?如果不是,应该用什么办法解决探针与薄膜之间的接触问题?多谢同行的帮助!
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chank

铁杆木虫 (正式写手)

★ ★
3040821025(金币+1,VIP+0):谢谢提供
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最好是用适合的金属先做好欧姆接触,如果接触不好做,就直接用探针扎,但是接触电阻可能比较大
2楼2007-10-23 09:06:12
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wangdy107

银虫 (小有名气)

请问楼上做过这方面的试验没有?如果做过,你做的膜厚大约为多厚,你的金属欧姆接触采用哪一种方法做的?谢谢
3楼2007-10-25 08:36:11
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