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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 工艺设计与开发 » 求教一个磁控溅射的问题 相同的靶材溅射出的膜质量却不一样！
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zhouwenhui2000

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
314977903: 金币+2, 应助指数+1, 感谢专家参与交流~ 2013-11-20 10:32:18
314977903: 专家考核 2013-11-20 12:18:45
第一靶材的成分和制作工艺有影响，如果不是同一批次的靶材影响肯定很大。第二溅射工艺影响比较大，虽然你的溅射功率不变，但是电流和电压变了，肯定也会有影响的。
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送人玫瑰，手有余香。
11楼2013-11-19 09:20:30
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gaowei701

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
314977903: 金币+1, 应助指数+1, 感谢参与应助！ 2013-11-20 10:32:33
建议先把新装上的靶溅射一段时间再镀膜，镀膜前考研先检查一下真空度，同时确保基片是同样的。
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12楼2013-11-19 21:09:08
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Smallpeng

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

能不能排除其他原因呢，先确定是不是靶材问题
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勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的
13楼2014-08-24 22:21:15
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hare50

金虫 (小有名气)
多镀几次，还有靶材厚度变了。
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14楼2014-08-26 17:06:24
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