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xin616金虫 (小有名气)
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[求助]
PVD镀膜
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大家好，最近在做PVD，遇到几个问题，望高手指点： 1 磁控溅射的PVD，Mask表面是绝缘的吗？表面有没有什么特殊的膜层？ 2 ground shield与Mask形成一个Plasma的环境，ground shield表面有绝缘膜层吗？还是本身就是绝缘的？ 3 Arcing是Target表面聚集Ar离子导致的，但是Arcing最终是怎么释放的？ 如果以上问题有相关的文献资料，请附上，金币多多，期待高手答疑解惑。。。 |
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【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2013-06-28 19:41:39
xin616: 金币+5, ★有帮助, mask是阳极罩，其材质应该是金属的，表面是否有氧化物绝缘？ 覆盖不到电极部分啊，中间还有O-ring啊，Arcing是电荷聚集的结果，Ar离子打入靶材时不就带电荷吗？ 2013-07-06 20:00:10
xin616: 回帖置顶 2013-07-06 20:00:21
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xin616: 金币+5, ★有帮助, mask是阳极罩，其材质应该是金属的，表面是否有氧化物绝缘？ 覆盖不到电极部分啊，中间还有O-ring啊，Arcing是电荷聚集的结果，Ar离子打入靶材时不就带电荷吗？ 2013-07-06 20:00:10
xin616: 回帖置顶 2013-07-06 20:00:21
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你自己这说的不明不白的。 mask 这个词在半导体工业用到的很多，而且不同环境意思不同。你这个太模糊了。我个人感觉你是不是说得阳极罩阿？还是你样品的那个mask? PVD机器里面没有什么涂层，即便有涂层也造就被覆盖了，没啥用。 Arcing 是电荷聚集的结果，跟Ar 关系不大。 |
2楼2013-06-28 15:47:37