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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » AE 电源问题(ATX-600)
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chery2005

铜虫 (初入文坛)

[求助] AE 电源问题(ATX-600)

我们磁控溅射用的是AE公司的电源，不知为何溅的好好的，中途突然DC-bias 变为0 ，但是功率和反馈功率都是好好的，之后降下功率，重新启动，再也不起辉了，大家知道是什么原因吗。还有就是以前好几次，都没法起辉，功率和反馈功率一直相等，没有偏压。求大家帮助。感谢万分！
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1楼 2013-06-26 13:07:55
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