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chery2005铜虫 (初入文坛)
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[求助]
AE 电源问题(ATX-600)
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| 我们磁控溅射用的是AE公司的电源，不知为何溅的好好的，中途突然DC-bias 变为0 ，但是功率和反馈功率都是好好的，之后降下功率，重新启动，再也不起辉了，大家知道是什么原因吗。还有就是以前好几次，都没法起辉，功率和反馈功率一直相等，没有偏压。求大家帮助。感谢万分！ |
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