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TonyHuu

铁虫 (正式写手)

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虫号: 2095514

[交流] 直径15微米的半球，怎么测得其表面形貌。

半球粘在基底上。有什么手段可以测单个半球的表面形貌呢？
试过的白光干涉仪和原子力都不行

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1楼2013-06-24 08:35:51

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TonyHuu

铁虫 (正式写手)

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引用回帖:

9楼: Originally posted by rosefly88 at 2013-06-24 13:10:15
为啥原子力不行呢？Tapping Model也不行么？

太大了，所以测原子力的说不行，他们的原子力Z向高度最多能测2-3um，这个有10几微米。

楼上各位，谢谢，可能我问题没有表述清楚。我要看的是表面三维的轮廓。其实结构不是标准的球面，是设计的二次非球面，所以想测量一下看看这个非球面的轮廓是不是我们理想的。

可能用“形貌”这个词不太好，那就用“轮廓”吧。要定量的。因为SEM或者光学显微镜表征的话我认为都算是“半定性”吧，只能靠标尺推断。