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直径15微米的半球,怎么测得其表面形貌。
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TonyHuu
铁虫
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虫号: 2095514
[交流]
直径15微米的半球,怎么测得其表面形貌。
半球粘在基底上。有什么手段可以测单个半球的表面形貌呢?
试过的白光干涉仪和原子力都不行
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2013-06-24 08:35:51
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TonyHuu
铁虫
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虫号: 2095514
引用回帖:
9楼
:
Originally posted by
rosefly88
at 2013-06-24 13:10:15
为啥原子力不行呢?Tapping Model也不行么?
太大了,所以测原子力的说不行,他们的原子力Z向高度最多能测2-3um,这个有10几微米。
楼上各位,谢谢,可能我问题没有表述清楚。我要看的是表面三维的轮廓。其实结构不是标准的球面,是设计的二次非球面,所以想测量一下看看这个非球面的轮廓是不是我们理想的。
可能用“形貌”这个词不太好,那就用“轮廓”吧。要定量的。因为SEM或者光学显微镜表征的话我认为都算是“半定性”吧,只能靠标尺推断。
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11楼
2013-06-24 14:30:05
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angel_yy
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不知道扫描电子显微镜可以吗
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3楼
2013-06-24 10:54:10
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shccms
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扫描电镜可以测的
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4楼
2013-06-24 10:59:34
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铁杆木虫
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光学显微镜如何??
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5楼
2013-06-24 11:09:19
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