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新虫 (初入文坛)

[求助] 多弧离子镀TiCN膜组织性能研究

各位，我是一个做表面改性的新手，现在老师给定了一个多弧离子镀TiCN膜，不知道该怎么做，镀膜工艺参数设置。

1楼2013-06-16 20:45:46

至尊木虫 (职业作家)

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我做过多弧离子镀TiN，机械泵+扩散泵抽到负3次方Pa后充气到6Pa左右，引弧，引弧成功后，电流约30A，2负偏压400V。每台设备的参数应该略有不同。当然，在镀膜前你可以Ar离子反溅清洗工件表面，后还可以先镀一层很薄的钛。设备定了，自己发挥。

2楼2013-06-17 12:57:54

木虫 (小有名气)

感谢参与，应助指数 +1

这方面的文献很多，先照着别人的工艺参数试试，等你熟悉设备和工艺后，就可以按照你的设想调整工艺参数了！

3楼2013-06-18 02:38:04

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