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半导体薄膜制备及加工技术实验室
磁控溅射、电子束蒸镀制备金属薄膜Au,Ag,Al,Cu,Cr,Fe,Mo,Ni,非金属薄膜Al2O3,AZO,ITO,Si,SiO2,Si3N4,ZnO；IBE、RIE、WE刻蚀加工
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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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foxs2

木虫 (文坛精英)

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我室为专门的薄膜制备与刻蚀加工实验室，拥有多台大型磁控溅射、电子束蒸镀、LPCVD设备。可镀Mo、Au、Ag、Al、Cu、Cr、Fe、Ni等金属薄膜和Si、SiO2、Si3N4、Al2O3、AZO、ZnO、ITO等非金属薄膜，厚度一般在10~1000nm。加工TCO透明导电膜。可提供玻璃片、硅片基底，若选其他基底请自备。
      提供RIE、IBE、WE等全套刻蚀加工服务，可刻蚀各种金属、非金属图形结构。非金属材料一般用RIE，金属常用IBE，刻蚀面积最大可为150mm直径。提供石英基底、硅基底压印模板加工。

赵工  壹伍壹零捌贰玖玖捌壹陆    zyy44138172@126.com

[ Last edited by foxs2 on 2016-1-19 at 15:22 ]
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1楼 2013-06-15 06:00:29
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csuzxz

铜虫 (初入文坛)
你们能加工叉指电极金属模板吗?  没根电极宽度大概60μm，模板厚度暂定5微米
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662楼2014-09-17 09:59:01
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gzl9901

铁杆木虫 (文坛精英)

very good
★
foxs2(金币+1): 谢谢参与
顶起来！
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2楼2013-06-15 06:25:11
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