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半导体薄膜制备及加工技术实验室
磁控溅射、电子束蒸镀制备金属薄膜Au,Ag,Al,Cu,Cr,Fe,Mo,Ni,非金属薄膜Al2O3,AZO,ITO,Si,SiO2,Si3N4,ZnO；IBE、RIE、WE刻蚀加工
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foxs2

木虫 (文坛精英)

[商家供应] 提供镀膜、刻蚀加工

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内容

我室为专门的薄膜制备与刻蚀加工实验室，拥有多台大型磁控溅射、电子束蒸镀、LPCVD设备。可镀Mo、Au、Ag、Al、Cu、Cr、Fe、Ni等金属薄膜和Si、SiO2、Si3N4、Al2O3、AZO、ZnO、ITO等非金属薄膜，厚度一般在10~1000nm。加工TCO透明导电膜。可提供玻璃片、硅片基底，若选其他基底请自备。
      提供RIE、IBE、WE等全套刻蚀加工服务，可刻蚀各种金属、非金属图形结构。非金属材料一般用RIE，金属常用IBE，刻蚀面积最大可为150mm直径。提供石英基底、硅基底压印模板加工。

赵工  壹伍壹零捌贰玖玖捌壹陆    zyy44138172@126.com

[ Last edited by foxs2 on 2016-1-19 at 15:22 ]
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1楼 2013-06-15 06:00:29
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费姚永芬

版主 (文学泰斗)

低眉浅笑岁月空

优秀区长优秀区长文献杰出贡献优秀版主优秀版主优秀版主优秀版主优秀版主
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foxs2(金币+1): 谢谢参与
❀❀❀Good luck! ❀❀❀*^_^*

祝贺越办越好
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177楼2013-08-17 10:39:57
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gzl9901

铁杆木虫 (文坛精英)

very good
★
foxs2(金币+1): 谢谢参与
顶起来！
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2楼2013-06-15 06:25:11
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