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问一个简单的问题，在GaAs基片上做外延，为什么都是在它的(001)面上？
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如题，在GaAs基片上做外延，为什么都是在它的(001)面上？ 其他半导体是什么面？为什么？谢谢回答 [ 来自小组 微纳电子材料与器件 ] |
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3楼2013-06-14 10:16:43
【答案】应助回帖
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感谢参与，应助指数 +1
fbqrdzs: 金币+5, 有帮助。 2013-06-14 10:16:49
Dreamerqu: 金币+10, ★★★很有帮助 2013-06-14 10:17:00
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Dreamerqu: 金币+10, ★★★很有帮助 2013-06-14 10:17:00
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笼统的讲，是以下几个原因吧： 1，（001）面基片最便宜。因为GaAs原晶生长基本上都是沿001的（也有111方向的，缺陷控制上要困难一些），那么001面基片的切割是效率最高的，110和111方向都要倾斜切割。 2，（001）面生长技术是最成熟的。 3，取决与上面要外延长什么材料，需要什么性能，以及晶体的对称性问题，001面是四次对称的，普遍用于外延立方晶，四方晶，（110）面基片也有啊，这个方向上电子mobility比001要高，弛豫时间长等，但是这个面是两个不等的二次对称轴，晶体对称性方面就有不同，生长高质量的外延晶体比001具有更多的挑战。（111）面是六次对称，有有差异了。 |
2楼2013-06-14 04:30:49
