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盒子

金虫 (著名写手)

[交流] 请教学化学的虫虫

请教学化学的虫虫们:
NH4F用来清洗试样,比如说硅片,它具有什么作用.一般NH4F作为清洗剂都起什么作用,与电性能有什么关系么,一般都用它来清洗什么?
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差之毫厘,谬以千里。
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evanhit

木虫 (小有名气)


gshsheng(金币+1,VIP+0):谢谢
NH4F受热分解产生HF,可以与被氧化的硅(SiO2)反应,生成SiF4,起到纯化硅的作用。
反应式为:
NH4F------------>NH3+HF
4HF+SiO2------->SiF4+2H2O
反应产生的氨气形成还原气氛,能在一定程度上保护硅不被氧化。
2楼2007-10-17 13:25:05
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盒子

金虫 (著名写手)

不对啊
我们是在室温下用NH4F清洗硅片
有文献说它对硅片的电性能有影响
不明白怎么回事
文献中也没作任何解释

[ Last edited by 盒子 on 2007-11-7 at 11:49 ]
差之毫厘,谬以千里。
3楼2007-11-07 09:08:18
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yytsnake

至尊木虫 (职业作家)

主要是清洗硅片表面产生的氧化硅。在常温下就可以反应。
4楼2007-11-07 15:46:43
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