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chc33

新虫 (初入文坛)

[求助] 吸光涂料

请问在光刻工艺中经常在基片背面涂什么材料来减少基片背面的反射光？有没有具体的型号或厂家。谢谢
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1楼 2013-06-09 13:13:04
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
kunpeng1782: 专家考核, 谢谢您的回答 2013-06-10 15:18:42
你是透明的片子？
即使是透明的片子，背面也不会涂任何材料来减反。首先绝大部分透明材料对紫外吸收都很大，不存在背面反射问题。其次，即使是石英片这样透紫外较好的片子，紫外基本上会穿透片子，达到chuck，片子本身反射极小。最后，chuck本身已经是黑的了，或者是某些stepper的chuck是磨砂的微晶玻璃，漫反射的，所以chuck也不会反射。

所以，请先确定你的所谓反射光是有什么产生的。详细描述下你的实验状态。
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2楼2013-06-09 13:44:40
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