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[求助]
急！请教表面反应速率与刻蚀速率之间的关系是什么啊？
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| 如题！我想知道如果已经求得刻蚀速率的话，如何推导其表面反应速率啊？ |
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sony8620
铁杆木虫 (文学泰斗)
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3楼2013-06-10 21:08:00
cs104
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【答案】应助回帖
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一般叫“蚀刻”（etch），而不是叫刻蚀。 一般蚀刻快说明反应快，成正比关系。 蚀刻速率的单位一般是nm/min，μm/mim之类，基本意思是，单位时间内材料被腐蚀、蚀刻去的厚度。 蚀刻速率一般可根据，单位时间内，被蚀刻材料失重(蚀刻前后的质量之差)计算，即 失重/密度=体积，体积/蚀刻面积=蚀刻厚度，蚀刻厚度除以时间得出蚀刻速率。 反应速率单位为mol/(L·s)、mol/(L·min)之类的，表示单位时间内反应物的浓度的减少或生成物浓度的增加量来表示。 蚀刻的反应速率，可以根据单位时间内材料失重计算出消耗的蚀刻液有效成份的消耗量，如，1L蚀刻液，1min，消耗了0.01mol的有效蚀刻成分，则蚀刻液的反应速率为：0.01mol/(L·min) |
2楼2013-06-10 11:30:52
