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sunwh_cool木虫 (正式写手)
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[求助]
PECVD中等离子体对电路的影响
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大家好，想问一下关于PECVD的问题。我们流片回来的芯片上有CMOS电路 还想用PECVD在这个片子上长一层薄膜，听说等离子体会对电路产生破坏，请问具体是怎样破坏电路的，可有什么防护措施避免等离子体的破坏吗？ 小弟最近查了一下PECVD的资料，感觉在CVD装置中加入平行电极板，加上高电压，是不是就可以自组装成PECVD装置了呢？ 本人新手，望大家多多赐教，谢谢！ |
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zhouhuaqun
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2楼2013-06-05 09:26:27