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sunwh_cool

木虫 (正式写手)

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[求助] PECVD中等离子体对电路的影响

大家好，想问一下关于PECVD的问题。我们流片回来的芯片上有CMOS电路还想用PECVD在这个片子上长一层薄膜，听说等离子体会对电路产生破坏，请问具体是怎样破坏电路的，可有什么防护措施避免等离子体的破坏吗？
小弟最近查了一下PECVD的资料，感觉在CVD装置中加入平行电极板，加上高电压，是不是就可以自组装成PECVD装置了呢？
本人新手，望大家多多赐教，谢谢！

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1楼 2013-06-05 09:16:14

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zhouhuaqun

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scu2020: 金币-1, 应助指数-1, 专业求助帖不要灌水吧 2013-06-05 11:27:39

good luck every day

一万年太久，只争朝夕

2楼2013-06-05 09:26:27

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