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duzidiaolin

木虫 (正式写手)

[求助] 了解EBP抗蚀剂的请进

如题,小虫初次接触EBP抗蚀剂,只知其为正性的化学放大胶,哪位接触过该胶型烦请不吝赐教!
关于该胶的化学组成,使用工艺...
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做人要脚踏实地
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
EBP????简写还是型号???
E-beam proximity printing?
E-beam photoresist?
2楼2013-06-04 12:24:47
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