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itiy

铜虫 (初入文坛)

[求助] 半导体纳米线,光刻后欧姆接触问题

我光刻后的半导体类型的纳米线,四电极测I-V总是不成线性,也就是说金电极与纳米线的接触很不好,请问大家有遇到类似的问题吗?是怎么解决的?
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yuxi-seu

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
itiy: 金币+10 2013-05-30 17:25:42
你的纳米线是什么材料的?如果是硅,那么是N型还是P型,金的功函数很大,如果是N型硅(不是重掺杂),很有可能形成肖特基势垒啊。
做个有心人,做个有毅力的人,做个乐观大度的人
2楼2013-05-29 22:06:27
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itiy

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yuxi-seu at 2013-05-29 22:06:27
你的纳米线是什么材料的?如果是硅,那么是N型还是P型,金的功函数很大,如果是N型硅(不是重掺杂),很有可能形成肖特基势垒啊。

是铋和碲化铋线。
3楼2013-05-30 09:13:31
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yuxi-seu

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by itiy at 2013-05-30 09:13:31
是铋和碲化铋线。...

那就要计算一下了,半导体的亲和能是多少,费米能级的位置在哪儿。
做个有心人,做个有毅力的人,做个乐观大度的人
4楼2013-05-30 11:43:29
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dongbaiju

银虫 (小有名气)

同学,你好。我想问下你用光刻怎么做的金电极啊,
我爱人人,人人爱我
5楼2013-06-26 15:56:16
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