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dolphindt

银虫 (初入文坛)

[求助] 斜切硅基片

亲爱的虫虫们!请问斜切的硅基片本来就是台阶状的吗?还是要经过热处理才能形成稳定的台阶:hand
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mateng_0902

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

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dolphindt: 金币+5, 有帮助 2013-07-15 11:10:58
貌似 要沿着特定的方向切,一般都有一个直边的。
2楼2013-05-24 17:29:52
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

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kunpeng1782: 专家考核, 谢谢您的指导 2013-05-24 19:16:22
按照晶向偏转一定角度切割的硅片,我们叫斜切硅片。
斜切的硅片表面并不是台阶的,而是研磨抛光后的镜面。形成台阶也不应该是靠热处理,而因该是是各向异性腐蚀。
3楼2013-05-24 18:48:25
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