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半导体薄膜制备及加工技术实验室
磁控溅射、电子束蒸镀制备金属薄膜Au,Ag,Al,Cu,Cr,Fe,Mo,Ni,非金属薄膜Al2O3,AZO,ITO,Si,SiO2,Si3N4,ZnO；IBE、RIE、WE刻蚀加工
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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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foxs2

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提供热固化压印模板、紫外固化压印模板，周期0.2~1微米的一维光栅、二维点阵，基底可以为硅片（热固化型）、石英基片（紫外固化型）或有机基片。
      我室为专门的薄膜制备、刻蚀、加工实验室，拥有多台大型磁控溅射、电子束蒸镀、LPCVD设备。可提供Au、Ag、Al、Cu、Cr、Fe、Mo、Ni等金属薄膜和Si、SiO2、Si3N4、Al2O3、ITO、AZO、ZnO等非金属薄膜镀膜服务，镀TCO透明导电电极。提供1.1毫米玻璃片、硅片基底，其他基底请自备。
      可提供RIE、IBE、WE等全套刻蚀加工服务，刻蚀各种金属、非金属图形结构。

赵工  壹伍壹零捌贰玖玖捌壹陆       zyy44138172@126.com

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1楼 2013-05-18 04:34:38
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gzl9901

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wlscj

主管区长
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foxs2(金币+1): 谢谢参与
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3楼2013-05-18 05:25:35
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emubackup

管理员
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foxs2(金币+1): 谢谢参与
4楼2013-05-18 05:53:03
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userhung

超级版主
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5楼2013-05-18 06:57:40
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yumoym

版主
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foxs2(金币+1): 谢谢参与
6楼2013-05-18 07:21:27
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ljt1982me

超级版主
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foxs2(金币+1): 谢谢参与
7楼2013-05-18 07:26:23
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jcajcazhzh

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foxs2(金币+1): 谢谢参与
8楼2013-05-18 07:39:11
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minimouse

专家顾问

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foxs2(金币+1): 谢谢参与
呵呵
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9楼2013-05-18 07:51:54
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fly51000

版主
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foxs2(金币+1): 谢谢参与
10楼2013-05-18 07:56:32
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