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liangxin115

铁虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射

在铝合金表面通过磁控溅射制备类石墨镀层,结果膜是彩色的,Ic=1.5A,基体偏压为-80V,是什么原因啊,求高手,谢谢
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

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膜厚不一样吧,膜厚不一样干涉光就不一样,所以颜色不一样
用绳命来搞科研
2楼2013-05-17 11:35:25
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qwcmos

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
膜厚分布不均匀。
沉积过程中基片是旋转的吗?
3楼2013-05-17 19:09:45
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