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zhongyuan89

金虫 (小有名气)

[求助] XPS 用Ar溅射去除表面污染物是否会使样品发生一些氧化还原从而影响样品价态

XPS 用Ar溅射去除表面污染物是否会使样品发生一些氧化还原反应，从而影响样品价态？
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1楼 2013-05-14 14:09:07
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rensu

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
pzypdl: 金币+2, 谢谢回帖 2013-05-14 17:41:49
zhongyuan89: 金币+3, ★★★很有帮助 2013-05-14 18:51:26
这个要看你的溅射条件。长时间，大功率的溅射一般是会对样品有影响的。不同元素被“打出”样品表面的难易情况是有差别的，尤其是金属元素和非金属元素（C,O,N,S,...）之间差别还是挺大的。
举个例子，长时间大功率溅射TiO2会损失掉更多的O，导致产生Ti3+。
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2楼2013-05-14 16:47:54
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