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fangduo366

新虫 (小有名气)

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[求助] SEM/EDS 能区分F 和O 吗？区分度好不好，有相关文献吗？

SEM/EDS 能区分F 和O 元素吗？区分度好不好，有相关文献吗？一般是用xps区分，我想问问EDS 能区分吗？请提供相关文献。

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1楼 2013-05-08 17:34:48

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ncsuuvm

至尊木虫 (职业作家)

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专业: 半导体材料

【答案】应助回帖

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感谢参与，应助指数 +1
fangduo366: 金币+20, ★★★★★最佳答案 2013-05-10 13:53:06

区分不了的，对于EDX来说，首先，EDX适用于原子序数大的元素，这是因为原子序数大，产生x射线的产量大(yield),可以从教科书中找到这样的曲线；另外，EDX受探测器的限制（由于使用了Be窗口层薄膜），使的《1keV的x射线都不能被吸收，这就导致了小于Na(Z=11)一下的元素都不能被吸收。所以对于这样的轻元素，可以使用其他的方法，比如EELS, XPS等。