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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 资源共享 » 虫友，推荐下做蚀刻较好的厂家，谢谢！
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xqbeyond

木虫 (著名写手)

斗士
引用回帖:
10楼: Originally posted by yswyx at 2013-05-10 12:30:48
不是我想像的简单，是你提供的信息有限，技术要求不详细的话，说什么都是错的。
像现在这个状况，不知道最小线宽，不知道所谓的中量具体指多少，不知道整个加工件的尺寸，不知道容忍的斜坡角度，根本没办法判断 ...

注意我的题目，我不是发表论文，OK？
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再牛逼似的梦想也挡不住傻逼似的坚持
11楼2013-05-10 14:05:26
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
蒋青松: 屏蔽内容 2013-05-11 13:04:47
本帖内容被屏蔽
12楼2013-05-10 19:39:49
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xqbeyond

木虫 (著名写手)
蒋青松: 屏蔽内容 2013-05-11 13:05:05
本帖内容被屏蔽
13楼2013-05-11 12:09:18
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R2BBr

木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
铜膜太厚, 干蚀/湿刻都不好操作. 干蚀主要是用等离子体激發的氟化物作用在硅, 产物是容易挥发的四氟化硅. 由于容易挥发的铜化合物不多, 所以直接应用等离子体干蚀法反而会在铜的表面产生一层保护性的氟化铜/氯化铜/氧化铜薄膜.

常用材料的干法刻蚀
http://www.ic37.com/zhidao/2012-7/answer_377984.htm
而二氯化铜由于蒸气压太低无法挥发，所以不能用化学性刻蚀完成，必须使用高能离子的撞击来完成铜的刻蚀，同时可提高温度来帮助二氯化铜的挥发。

铜膜厚, 刚好可以考虑一下机械加工的方式 (e.g. 关键字 “CNC 雕刻机”, “激光雕刻”, 或是 “金属板浮雕代工” ).
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14楼2013-09-07 02:45:17
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