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xqbeyond木虫 (著名写手)
斗士
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虫友,推荐下做蚀刻较好的厂家,谢谢! 已有2人参与
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如题,最近有个材料需要进行蚀刻线路,铜有点厚(0.2-0.6mm),不知虫友是否知道相关蚀刻较好的厂家,请推荐下,非常感谢!![]() [ 来自科研家族 新材料领域家族 ] |
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铜膜太厚, 干蚀/湿刻都不好操作. 干蚀主要是用等离子体激發的氟化物作用在硅, 产物是容易挥发的四氟化硅. 由于容易挥发的铜化合物不多, 所以直接应用等离子体干蚀法反而会在铜的表面产生一层保护性的氟化铜/氯化铜/氧化铜薄膜. 常用材料的干法刻蚀 http://www.ic37.com/zhidao/2012-7/answer_377984.htm 而二氯化铜由于蒸气压太低无法挥发,所以不能用化学性刻蚀完成,必须使用高能离子的撞击来完成铜的刻蚀,同时可提高温度来帮助二氯化铜的挥发。 铜膜厚, 刚好可以考虑一下机械加工的方式 (e.g. 关键字 “CNC 雕刻机”, “激光雕刻”, 或是 “金属板浮雕代工” ). |
14楼2013-09-07 02:45:17
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2楼2013-05-07 11:52:00
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3楼2013-05-07 16:57:37
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4楼2013-05-08 01:16:35








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