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行尸走兽

金虫 (小有名气)

[求助] 关于莫特-肖特基(mott-schottky)的基础知识 已有2人参与

最近想测量半导体膜是n型还是p型,由于没有霍尔测试仪,在网上查到可以利用莫特-肖特基测试来辨别,但是在网上看到的资料不全,感觉对这种测试方法无法理解,请有知道的同学能够清晰的简单介绍一些测试原理,及其数据分析过程的原理。

我在课本上没找到相关的知识。如果有谁知道哪本书上有或者那篇论文讲解的比较详细,请给小弟指明一下。感激不尽呀
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by fengyameihua at 2013-11-14 15:37:41
你好!在小木虫中看到了好多你关于模特肖特基曲线测试与分析的答复,想必你这是这方面的专家呢,在此想请教你个问题:我在测试M-S曲线时发现所得到的数据的phase项未发生变化,最后所得到的数据是凌乱的,不知道这 ...

在M-S测试中是不关心阻抗的相位角的,你检查你的测试过程是否正确。实际上,MS测试是在一个线性电位扫描过程中叠加一个固定频率的交流阻抗测试,这个交流频率一般选择5-20kHz都可以,严格讲,不同样品可以先测试不同频率的情况,如果不想麻烦,一般选择5kHz应该是可以的。
Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
4楼2013-11-14 15:48:56
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Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

P-N转变是有的,但你的M-S图不正常,再看看你的实验条件,我觉得你的测试参数设置有问题,一般的情况应该是这样:电位范围:以开路电位为中心,左右扫描0.5V—0.8V 就足够了;其次,交流阻抗的频率一般设置:2kHz,5KHz, or 10kHz. 你却用的10Hz.
Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
7楼2014-03-17 11:36:57
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Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
行尸走兽(yanbo1986代发): 金币+2, 感谢应助。 2013-05-03 14:45:39
这里推荐两篇文献,你看完后应该对M-S的原理、测试条件和数据处理有所认识了。
钢筋钝化膜半导体性能的Mott-Schottky研究
http://wenku.baidu.com/view/a850b1b665ce05087632132f
钽阳极氧化膜的半导体性研究
http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTOTAL-DZAL201108014.htm
Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
2楼2013-05-03 14:44:03
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Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

电解液的选择原则是不能溶解破坏待测的半导体膜。
Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
9楼2014-04-08 13:29:31
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普通回帖

fengyameihua

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Jackcd12 at 2013-05-03 14:44:03
这里推荐两篇文献,你看完后应该对M-S的原理、测试条件和数据处理有所认识了。
钢筋钝化膜半导体性能的Mott-Schottky研究
http://wenku.baidu.com/view/a850b1b665ce05087632132f
钽阳极氧化膜的半导体性研究
h ...

你好!在小木虫中看到了好多你关于模特肖特基曲线测试与分析的答复,想必你这是这方面的专家呢,在此想请教你个问题:我在测试M-S曲线时发现所得到的数据的phase项未发生变化,最后所得到的数据是凌乱的,不知道这种属于什么问题呢?可以方便留个邮箱吗?交流一下。谢谢啦!
3楼2013-11-14 15:37:41
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fengyameihua

银虫 (小有名气)

内容已删除
5楼2013-11-14 21:40:19
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sduhua

木虫 (著名写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by Jackcd12 at 2013-11-14 15:48:56
在M-S测试中是不关心阻抗的相位角的,你检查你的测试过程是否正确。实际上,MS测试是在一个线性电位扫描过程中叠加一个固定频率的交流阻抗测试,这个交流频率一般选择5-20kHz都可以,严格讲,不同样品可以先测试不 ...

你好,这几天都在研究你在小木虫上关于MS曲线的解释,我测得的曲线截图是这样的,存在一个峰值,有种说法是存在p型与n型的转变,但是为什么会转变,这转变能说明什么问题?看到别人论文里的都只是一个变化趋势,没见过先升后降的曲线,求大神指点。。。
关于莫特-肖特基(mott-schottky)的基础知识
1.png

梦里不知身是客
6楼2014-03-17 10:07:37
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夏末_1989

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
7楼: Originally posted by Jackcd12 at 2014-03-17 11:36:57
P-N转变是有的,但你的M-S图不正常,再看看你的实验条件,我觉得你的测试参数设置有问题,一般的情况应该是这样:电位范围:以开路电位为中心,左右扫描0.5V—0.8V 就足够了;其次,交流阻抗的频率一般设置:2kHz, ...

你好,你的贴总能让我学到点东西,但是我对mott-shcottky的测试电解液还有些费解,不知道你是如何参考的?文献中关于电解液的描述也有很多种。
计较的少,失望的也少。
8楼2014-04-08 09:13:26
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mini木虫

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by Jackcd12 at 2013-11-14 15:48:56
在M-S测试中是不关心阻抗的相位角的,你检查你的测试过程是否正确。实际上,MS测试是在一个线性电位扫描过程中叠加一个固定频率的交流阻抗测试,这个交流频率一般选择5-20kHz都可以,严格讲,不同样品可以先测试不 ...

我在测莫特肖特基时,测得的数据是凌乱的,换过好几种电解液,还是这样,相位角也是平的,这是什么原因。。

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10楼2016-09-09 11:14:42
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