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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 声表面波器件的制备和测试问题
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wu1008

金虫 (著名写手)

[求助] 声表面波器件的制备和测试问题

有没有虫虫做声表面波的？
想了解一下，它的电极是怎么制作的，什么尺寸？
然后，用什么仪器测试，怎么测试？
我以前不做这个，一片空白，希望虫虫不吝赐教
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1楼 2013-05-01 16:57:04
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愤怒的-小虫

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

它的电极一般为铝电极，有磁控溅射设备沉积金属铝，然后用剥离或者刻蚀技术，做出IDT电极，尺寸当然是越小越好，但是现在能做到微米一下就不错了，性能测试要用网络分析仪
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灵魂和肉体的战斗
5楼2013-11-19 23:39:52
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show_qwe

铁虫 (初入文坛)
★
nofrunolif: 金币+1, 鼓励新虫交流 2013-10-31 14:44:49
还不知道声表面波的资讯应该在哪个版面找呢。。。
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2楼2013-10-31 10:40:03
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wu1008

金虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by show_qwe at 2013-10-31 10:40:03
还不知道声表面波的资讯应该在哪个版面找呢。。。

?????
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3楼2013-10-31 13:30:57
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愤怒的-小虫

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
wu1008: 金币+15, ★★★很有帮助 2013-12-03 12:41:49
它的电极一般为铝电极，有磁控溅射设备沉积金属铝，然后用剥离或者刻蚀技术，做出IDT电极，尺寸当然是越小越好，但是现在能做到微米一下就不错了，性能测试要用网络分析仪
赞一下 回复此楼
灵魂和肉体的战斗
4楼2013-11-19 23:39:36
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