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jnxyzhhh

银虫 (小有名气)

[求助] 直流溅射的CU/AG时,透过较低,薄膜呈(程)黑色,什么原因导致它氧化的?



[ Last edited by wolfghost on 2013-4-24 at 08:45 ]

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wolfghost

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
jnxyzhhh: 金币+5, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2013-04-25 09:32:36
楼主
按照操作规程来说,有没有可能是:溅射后过早暴露空气中(温度没有降下来),被空气中氧氧化。
大刀向鬼子的头上砍去!ChopJapstoDeath!
2楼2013-04-24 08:52:38
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