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xuanholi铜虫 (初入文坛)
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[交流]
急·！！求助！！关于射频电源的屏蔽问题
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我有一台等离子体化学气相沉积设备，现利用13.56MHz射频产生等离子体。但是现在有一个问题是：射频电源一旦开启时，加上功率后，对质量流量计和真空电离规的影响非常大，质量流量计和电离规的读数非常不稳定。这些地方我已经用铜网屏蔽并接地，请教还有什么办法能够有效解决此问题？？？ 能够解决者，我愿意出10金币！！ 非常急！ 谢谢 |
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wwbei1980
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