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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 交叉学科 » 扩散硅压阻式能否用作真空度测量??
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秋爱松

铜虫 (初入文坛)

[求助] 扩散硅压阻式能否用作真空度测量??

扩散硅压阻式能否用作真空度测量??很着急
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1楼 2013-04-18 19:14:08
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玉川真空

禁虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
华丽的飘过: 金币+8, 3q 2013-04-26 04:14:45
本帖内容被屏蔽
2楼2013-04-24 12:43:54
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hrandy

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

如果使用真空范围200Pa到一个大气压，优于其他测量方式
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3楼2013-04-25 13:27:28
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CVD金刚石

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

可以，市场有定型产品，国内的睿宝、北仪等都有产品，一般在2000左右.
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4楼2013-04-26 17:18:52
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