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求助：ZrO2薄膜中的电子迁移率
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| 哪位知道ZrO2薄膜中的电子迁移率是多少？最好能提供相关文献支持，网上只找到了一个：JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 97, 034506 (2005)，但是不合适。 |
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3楼2013-04-18 21:10:19
【答案】应助回帖
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感谢参与，应助指数 +1
wbcui: 金币+1, 多谢帮助 2013-04-19 10:14:08
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你确定是要找ZrO2里面的electron mobility么？ ZrO2是insulator，现在尚未用作工业上的High-K材料。 用ZrO2做Gate还在研发阶段。我从没听说insulator的electron mobility概念。 就如同没人会讨论金属里面的electron mobility一样。 根据F-D distribution，insulator内的载流子 (electron or hole)量少的可怜， mobility无论是什么数值都没有意义的。当然，我不确定是否有这个概念。 只是我从没听说过。 |
2楼2013-04-18 17:25:43