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dashan_612木虫 (正式写手)
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欧姆接触问题 高手帮忙
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| 测电阻需要找一种金属做电极，找的金属对电阻测量结果没有影响的为欧姆接触。请教大虾，AlN的欧姆接触是什么材料，或者在那里可以找到相关的资料 谢谢 |
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| Sand等人[24]提出掺入p型的杂质到半导体的表 面层可能产生低阻的接触。Mg和Zn对于GaN是最浅的两种p型杂质，将这类杂质添加到接触金属 里面，采用了Au/Mg/Au或Ni/Au-Zn等金属化方案，但是没有明显的改进，只能做到约10-3W·cm2。Suzuki等人[16]提出，对氢原子有很强束缚能的金属可以制作低阻的p-GaN欧姆接触，因为金属 在高温下可以从p-GaN中吸收氢原子而增加其空穴浓度。采用Ta/Ti方案获得了3×10 -5W·cm2的低阻，但其热稳定性太差。Kaminska等人[5]采用Zr基金属化方案，利用ZrN/ZrB2 吸收p-GaN表面的氢原子，获得低阻（6～8）×10-5 W·cm2。另一种获取低阻欧姆接触的途径是通过半导体的能带工 程，禁带宽度小的半导体可以促进载流子的热电子发射，因此，薄的重掺杂的小带隙半导体帽层被用到各种器件中。InN的带隙比GaN和AlN小，在GaN上面长一层InN或InGaN，就可以产生低阻接触。Kumakura等人[25]在Pd/Au和p-GaN之间插入一层2nm的应变InGaN接触层，未经任何处理就得到了相当低的接触电阻率（1.1×10-6W·cm2）。 |
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