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SRIM 能谱
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| TRIM模拟得出的Ion Range Distribution 图中，得到的纵坐标乘以注入剂量得到杂质分布对深度的曲线。请问能通过这幅图和相关的数据得到入射粒子能量对深度的曲线，最后得到能谱图吗？因为设置的靶比较复杂，用Full计算很慢。我是选择的Quick计算，是不是应该用Full呢？ |
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yuxiaoinbuaa
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