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请教薄膜厚度与组分比的关系
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cao147259
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性别: GG
专业: 半导体晶体与薄膜材料
[
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]
请教薄膜厚度与组分比的关系
我看关于CIGS的文献,溅射Cu/In/Ga金属前驱,通过改变每一层薄膜的厚度来控制In/(In+Ga)的比值,请问是怎么算出来的,谢谢!
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1楼
2013-04-07 20:18:32
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maya5428
铜虫
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虫号: 2189805
注册: 2012-12-16
性别: GG
专业: 光学和光电子材料
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
貌似利用 XRF结果可测量出 薄膜的化学成分比。
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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3楼
2013-04-08 01:02:04
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mkboy1
木虫
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虫号: 2018160
注册: 2012-09-21
性别: GG
专业: 半导体晶体与薄膜材料
同求啊,如果用SEM测出截面厚度,并能明显看出各个层厚度之后该根据三者的厚度算出三者的原子比啊??
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2楼
2013-04-07 21:16:58
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